鹽酸脫析法是將濃鹽酸置于脫析塔鐘加熱脫析制備氯化氫氣體，在(zai)七十年代末期發(fa)展出來(lai)的(de)(de)。然后，經過一系(xi)列(lie)的(de)(de)常溫、低溫干燥、吸附(fu)除水以及二氧化碳(tan)，壓縮(suo)至1.2Mpa，進(jin)(jin)行低溫精(jing)餾(liu)，再(zai)經過低溫吸附(fu)除去氮后壓縮(suo)至4.2Mpa，然后再(zai)進(jin)(jin)行裝瓶。

     發(fa)生法(fa)是在七十年(nian)(nian)代以前，電子(zi)工業用(yong)高(gao)純度(du)氯化(hua)氫的(de)制(zhi)備(bei)一(yi)直是將(jiang)濃硫酸(suan)滴加到濃鹽(yan)酸(suan)中，將(jiang)其中的(de)水吸收掉(diao)，使得過飽(bao)和的(de)氯化(hua)氫氣體析出。到了七十年(nian)(nian)代到八十年(nian)(nian)代初(chu)期(qi)，制(zhi)備(bei)方法(fa)發(fa)展到用(yong)濃硫酸(suan)與(yu)焙(bei)烘干的(de)食鹽(yan)反應，生成高(gao)純度(du)的(de)氯化(hua)氫氣體，再用(yong)壓縮機壓入鋼瓶中。 

     合成法用氯和氫在合成爐中進行燃燒反應生成氯化氫氣體是八十年代初為適應我國電子工業的迅速發展而提出的，在技術上較為先進，由合成爐出來的氯化氫氣體經常溫(wen)(wen)、低(di)溫(wen)(wen)干燥和吸附凈化，在低(di)溫(wen)(wen)、低(di)壓下冷凝，排除不凝氣(qi)體(ti)雜質，以液態裝(zhuang)瓶。氯(lv)、氫(qing)(qing)合成中，氫(qing)(qing)過(guo)量5％左(zuo)右，氯(lv)化氫(qing)(qing)氣(qi)體(ti)中含氫(qing)(qing)高，以間(jian)歇(xie)精餾裝(zhuang)置除氫(qing)(qing)。此外，原(yuan)料氫(qing)(qing)是經鈀(ba)膜擴(kuo)散提純，生產規模(mo)受到(dao)一定限制(zhi)。 

     發生法以(yi)及脫析法生產規模較大。