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現在電子工業用氣(氨氣、氯化氫、四氟化碳)已經告別進口
高純(chun)氨(an)氣(NH3)是電子工業(ye)中氮化膜(mo)的(de)(de)成膜(mo)氣體(ti)。高純(chun)氨(an)氣跟硅(gui)烷、高純(chun)氬氣(Ar)用于(yu)薄膜(mo)太陽能電池(chi)的(de)(de)制(zhi)造(zao),也用于(yu)LED電子行業(ye)。氨(an)氣具有強腐蝕性和毒(du)性,而(er)且具有刺激(ji)性臭味,易溶于(yu)水。
在目前,國(guo)產高純氨(an)氣已(yi)經占到(dao)國(guo)內市場需求的一大半,相信以后(hou)會完全(quan)取代國(guo)外氣體公(gong)司滿(man)足中國(guo)在IC、LED、太陽能電(dian)池等領(ling)域的需求。
高純(chun)四(si)氟化(hua)碳(CF4) ,目(mu)前四(si)氟化(hua)碳主要應(ying)(ying)用(yong)于(yu)微(wei)電子工業中的(de)(de)等離(li)子蝕刻,廣(guang)泛應(ying)(ying)用(yong)于(yu)硅(gui)、二氧化(hua)硅(gui)、氮化(hua)硅(gui)、磷硅(gui)玻璃及鎢膜材料的(de)(de)銹蝕。同時也應(ying)(ying)用(yong)于(yu)電子元件的(de)(de)清(qing)洗。四(si)氟化(hua)碳又叫做四(si)氟甲烷,是一種鹵代烴。無色、無臭、不可燃,揮發性較高。是最穩定(ding)的(de)(de)有(you)機化(hua)合物之(zhi)一。
目前可以生產(chan)純度達(da)99.999%的(de)高純四氟化碳,產(chan)量基本可以滿(man)足珠江三角(jiao)洲地區(qu)電(dian)子工(gong)業的(de)需求。
高純氯化氫(HCL),主要應用于大規模集成電路單晶硅片氣相拋光,外延機座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體。易溶于水(遇水是有強腐蝕性)。遇氰化物產生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經可以滿足國(guo)內市場的需求。
隨著國內氣體企業對電子氣體的重視,國內氣體公司在技術方面也漸漸的追上了國外氣體公司。涌現出了一批具有創新性和活力的氣體公司。我們淄博言赫特氣經營氯化氫氣體已經多(duo)年,獲得了很多(duo)客戶的好(hao)評,也希望我們可(ke)以成為很好(hao)的合作伙伴!