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如何使過飽和的氯化氫氣體析出
高(gao)(gao)純氯(lv)化(hua)(hua)氫是(shi)集(ji)成(cheng)電路生產中(zhong)(zhong)硅片(pian)蝕(shi)刻,鈍化(hua)(hua)和外延等(deng)工(gong)藝的(de)(de)重要(yao)材料,也可用于金屬冶(ye)煉(lian),光導通訊和科學研究(jiu)等(deng)領域(yu)。隨著大規模集(ji)成(cheng)電路的(de)(de)發(fa)展(zhan),對氯(lv)化(hua)(hua)氫純度(du)的(de)(de)要(yao)求越來(lai)越高(gao)(gao),對其(qi)(qi)中(zhong)(zhong)雜質的(de)(de)含量(liang)要(yao)求越來(lai)越苛刻,尤其(qi)(qi)要(yao)求嚴(yan)格限制(zhi)碳氫化(hua)(hua)合(he)物和碳氧化(hua)(hua)合(he)物的(de)(de)含量(liang),以防止硅片(pian)加工(gong)過程中(zhong)(zhong)c的(de)(de)形成(cheng)。國內外對于制(zhi)備高(gao)(gao)純氯(lv)化(hua)(hua)氫的(de)(de)方法有(you)很(hen)多。
20世(shi)紀(ji)70年(nian)代以前電子工(gong)業用(yong)高(gao)(gao)純(chun)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)的制備(bei)一直是(shi)將濃硫酸(suan)滴加到(dao)濃鹽酸(suan)中,將其中的水吸收(shou)掉,使(shi)過飽和的氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體析(xi)出(chu) 。20世(shi)紀(ji)8O年(nian)代以后制備(bei)方法(fa)發(fa)展到(dao)用(yong)濃硫酸(suan)與焙(bei)烘干的氯(lv)化(hua)(hua)鉀反應(ying),生(sheng)成高(gao)(gao)純(chun)氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體,用(yong)壓縮(suo)機壓入(ru)鋼瓶中。即曼海姆法(fa)硫酸(suan)鉀聯產氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體日。此(ci)種方法(fa)生(sheng)產的氯(lv)化(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣體純(chun)度在99.9%(質量分數)以上。
為了測定在吸(xi)(xi)(xi)飽HCl-H2O件下的耐酸性(xing)(xing),曾使(shi)樣(yang)品吸(xi)(xi)(xi)HCl-H2O飽和后(hou),用塑料袋(dai)密封放(fang)置(zhi)多天,再生(sheng)后(hou)再測其(qi)吸(xi)(xi)(xi)水性(xing)(xing)能,吸(xi)(xi)(xi)水量仍未下降。其(qi)耐酸性(xing)(xing)能良(liang)好。A型分子篩耐酸性(xing)(xing)能差,吸(xi)(xi)(xi)附(fu)性(xing)(xing)能大幅(fu)度下降。JMT型干燥劑是一種含硅鋁比的絲光(guang)沸石(shi)型分子篩,具有(you)良(liang)好的熱穩定性(xing)(xing),除在300℃前(qian)(qian)有(you)一脫水而引起(qi)明(ming)顯吸(xi)(xi)(xi)熱峰(feng)外,在900℃前(qian)(qian)無明(ming)顯的分解峰(feng),說(shuo)明(ming)其(qi)晶(jing)格具有(you)優良(liang)的穩定性(xing)(xing)。
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