我們來(lai)看一下電子級氯化氫(qing)的凈化是關鍵的。

  在續(xu)批量(liang)生(sheng)產(chan)應用(yong)于單晶硅外(wai)延片制造的5N(99.999%)電子(zi)級(ji)(VLSI)氯(lv)化(hua)氫，以及應用(yong)于醫藥中(zhong)間體、農藥及精細化(hua)學品(pin)(pin)制造的2.8N(99.8%)化(hua)學級(ji)氯(lv)化(hua)氫。產(chan)品(pin)(pin)性能先進，質(zhi)量(liang)穩定，處于國(guo)內領(ling)先地位，達到國(guo)際(ji)先進水(shui)平(ping)。鋼瓶(ping)裝電子(zi)級(ji)氯(lv)化(hua)氫產(chan)品(pin)(pin)分別經(jing)國(guo)家標(biao)準物質(zhi)研究中(zhong)心(xin)和信息產(chan)業部專用(yong)材料(liao)質(zhi)量(liang)監督檢驗(yan)中(zhong)心(xin)抽樣檢驗(yan)，純度大于99.999%，總雜質(zhi)含量(liang)小于5ppm，符合國(guo)家標(biao)準GB/T24469-2009。

在氯化氫廣泛應用于(yu)半(ban)導體是、微(wei)(wei)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)和(he)相關(guan)(guan)的(de)(de)太陽能(neng)電(dian)(dian)池等高(gao)(gao)科技(ji)產(chan)業(ye)，或(huo)用(yong)于薄膜(mo)沉積(ji)、刻蝕、摻雜、鈍化(hua)、清洗，或(huo)用(yong)作載氣(qi)(qi)(qi)、保護氣(qi)(qi)(qi)氛(fen)等等。由(you)于半(ban)導體和(he)微(wei)(wei)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)技(ji)術向更(geng)高(gao)(gao)性(xing)能(neng)、更(geng)高(gao)(gao)集(ji)成度(du)發展，對電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級氯化(hua)氫的(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)提出(chu)了越(yue)來越(yue)高(gao)(gao)的(de)(de)要(yao)(yao)求，電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級氯化(hua)氫的(de)(de)的(de)(de)凈(jing)化(hua)愈加關(guan)(guan)鍵和(he)重(zhong)要(yao)(yao)。目(mu)前(qian)國內的(de)(de)超高(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)凈(jing)化(hua)技(ji)術主(zhu)要(yao)(yao)依(yi)賴進口，自(zi)身的(de)(de)技(ji)術水(shui)準（6N）與國際(ji)先進水(shui)平(8-9N)有較大(da)差(cha)距。本(ben)(ben)項(xiang)目(mu)將設計和(he)研發一系列高(gao)(gao)效、高(gao)(gao)容量、高(gao)(gao)選擇性(xing)、低成本(ben)(ben)的(de)(de)新型納(na)米凈(jing)化(hua)劑，對MO源、惰(duo)性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體、氫化(hua)物氣(qi)(qi)(qi)體、反應性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體、腐蝕性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體等5個系列，50多種電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特(te)(te)氣(qi)(qi)(qi)進行末端凈(jing)化(hua)，使電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特(te)(te)氣(qi)(qi)(qi)純(chun)(chun)(chun)度(du)由(you)ppm級提高(gao)(gao)到ppb、ppt級，并將氯化(hua)氫傳輸和(he)控(kong)制系統對氣(qi)(qi)(qi)體純(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)影(ying)響降至最小，從而極大(da)地改善工藝(yi)能(neng)力，降低產(chan)品缺陷， 提高(gao)(gao)制程的(de)(de)產(chan)量，滿足下一代半(ban)導體、微(wei)(wei)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)以(yi)及相關(guan)(guan)高(gao)(gao)技(ji)術發展的(de)(de)需(xu)要(yao)(yao)。本(ben)(ben)項(xiang)目(mu)將形成有自(zi)主(zhu)知識產(chan)權的(de)(de)超高(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特(te)(te)氣(qi)(qi)(qi)凈(jing)化(hua)技(ji)術，解決超高(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特(te)(te)氣(qi)(qi)(qi)凈(jing)化(hua)這一核心技(ji)術的(de)(de)國產(chan)化(hua)問(wen)題(ti)。

    看(kan)完了希望能給大(da)家帶來幫助！